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什么是流量控制器

质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。温度传感元件用于检测气体温度，加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。

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流量控制器如何测混合气体的流量？

质量流量计是采用感热式测量百，通过分体分子带走热量多少从而来测量流量，因为是用感度热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。

即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流专量。

此方法，日系发动机常用。

流量控制器的具体内容

1.提高开表率在仪表设备管理中，开表率的定义是：(仪表总台数一未正常使用的仪表台数)/仪表总台数。因此，提高开表率就是要减少无法投入正常使用的仪表。

2.节省费用这里所说的费用除了仪表购置费之外，还应计入附件购置费、安装调试费、运行费、备品备件费、维护和定期校准(检定)费，而质量流量控制器的平均寿命摊入的折旧费也不是可忽视的。

3.提高流量测量系统的可靠性用于安全联锁报警的流量仪表如果不可靠，应该联锁动作时不动作，容易酿成事故，不该动作时乱动作，容易导致不应有的停车，造成损失。工业炉窑中的燃料流量计如果不可靠，造成流路堵塞，容易导致炉子熄火，酿成事故。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。用于过程控制的流量仪表如果不可靠，容易为调节系统发出错误信息，导致调节系统失调，***生产过程的稳定，影响产品的质量、产量和物耗，造成损失。可以看出，流量仪表的可靠性是较为重要的。

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流量控制器

使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源, 气压很低, 用普通MFC, 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明, 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC, 这时MFC的工作压差范围, 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在MFC中结露, 结露会影响MFC的正常工作。质量流量控制器（MassFlowController缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。为了防止结露, 可以对管路和MFC适当加温, 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温MFC产品。