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什么是流量控制器？

质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）, 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。

质量流量控制器, 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。若采用恒定温差法，即保持两点温差不变，则通过测量加热的功率也可以求出质量流量。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

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什么是流量控制器

质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。如果您的质量流量控制器是316L不锈钢结构的耐腐蚀系列，那您大可高枕无忧，因为耐腐蚀系列的结构与液体流量计、液体流量控制器基本相同，可大程度地允许液体渗入。质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。

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流量控制器的性能特点

可按设计或实际要求设定流量，能自动消除系 统的压差波动，保持流量不变。

克服系统冷热不均现象，提高供热(供冷)质量。

完全解决近端压差大，远端压差小的矛盾。

减少系统循环水量，降低系统阻力。

减少设计工作量，不需要对管网进行繁琐的水力平衡计算。

降低调网难度，把复杂的调网工作简化为简单的流量分配。

免除多热源管网热源切换时的流量再分配工作。

流量显示值均为测试台上随机标定，流量(m3/h) 。

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