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刘彦燕 女士
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发布时间:2021-11-28 04:44:11
流量控制器的工作压差范围是个什么概念?
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。举个例子,容许范围2%表示流量波动在设定值的2%以内即为稳定。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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流量控制器特点
1、 稳定的流量供给,不受温度、压力变化
2、 宽量程比,可达100:1
3、 高达0.1%的重复性和1.0级的精度等级
4、 多参数显示和输出:温度、压力、流量等
5、 内置70余种气体,触屏式直接操作切换,无需重新校准
6、 标配三种显示方式:数字、模拟和本地面板
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流量控制器
怎样选择流量显示仪?
我们的流量显示仪非常丰富,可供用户选择的余地很大。
我们有单通道(配接一台MFM/MFC)和多通道(配接多台MFM/MFC)产品;多通道产品中又有共用显示和分别显示之分(前者体积较小,价格稍便宜,但显示需切换;后者体积较大,但显示直观);有台式﹑仪表式﹑和上架机箱式;有输入输出只能是电压信号的,也有电压和电流信号都行的;多数产品使用交流220V电源,也有产品可使用交流110V电源;有MFC和MFM都能配的,也有单配MFM的。带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表,虽在测量管道中置有阻流件,但压力损失也不大。
还有流量积算仪可进行瞬时流量和累积流量的显示。
将流量显示仪安装在机柜上的用户,请注意安装的开孔尺寸。
怎样进行不同气体的质量流量换算?
产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时,实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。
如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。气体的比热容会随着压力温度而变,但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。在测量过程中,以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。
空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体,其转换系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气标定显示的产品,不必换算。
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