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发布时间:2022-03-22 02:23:11
流量控制器的原理是什么?
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。可直接用来测量管道中介质的质量流量及总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。
如何提高流量控制器的准确度?
提高气体质量流量控制器实用准确度的措施为:
1.针对气体质量流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体质量流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
3.考虑工艺压力、温度等对气体质量流量控制器测量准确度的影响。
4.把好气体质量流量控制器的投用关。
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流量控制器
怎样选择流量显示单位?
我们的流量显示仪一般提供三种流量显示单位,即百分比﹑SCCM﹑SLM。出厂前根据用户的要求设定。按百分比显示的方式,即是将 MFM / MFC 的流量测量值按其占满量程的百分比来显示,例如,规格为50SCCM的MFM/MFC,当显示值为80%时,实际的流量为40SCCM。对任何一种规格的MFM/MFC,满量程值都显示为100%。这种方式通用性好,可配不同量程的MFM/MFC,但不直观,有的用户不习惯。此热传递正比于气体质量流量,即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。
按 SCCM或 SLM显示,出厂时对流量显示的范围与相应的MFM/MFC的量程进行匹配,使用时显示值即是流量值,很直观,符合习惯,为多数用户所采用。 匹配好后,原则上也能接其它量程的MFM/MFC使用,只是显示值需要修正。
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