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发布时间:2022-05-25 02:33:06
什么是流量控制器?
质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。倘若液体中含有悬浮颗粒物,抽湿过程可能会留下固体颗粒,从而导致质量流量计或质量流量控制器内留有残渣。
流量控制器的性能参数
流量控制器的特点是:当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时,通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。
流量控制器的性能参数有:流量控制精度、工作压差范围、启动压差
工作压差范围指的是当流量控制器进口、出口压差变化在多大范围时,能保持通过流量控制器的流量恒定不变。行业标准中规定工作压差范围0.03-0.3MPa,A类产品工作压差范围达到0.03-0.4MPa。怕粉尘,若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器,造成测量误差,要求在进气口前加装过滤器。工作压差范围的大小取决于自力式流量控制阀的设计。
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流量控制器
气体质量流量单位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。节省费用这里所说的费用除了仪表购置费之外,还应计入附件购置费、安装调试费、运行费、备品备件费、维护和定期校准(检定)费,而质量流量控制器的平均寿命摊入的折旧费也不是可忽视的。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
选择产品和订货时应当注意
注意选择合适的响应时间指标
有的应用系统对MFC的响应时间有较高的要求,用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时,还应注意其响应过程及动态特性。
注意对安装位置有无要求
有的厂家的产品要求必须水平位置安装。
注意使用气体和适用范围
MFM/MFC 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质(特别是使用对腐蚀性气体)情况等均有一定适用范围,请注意阅读说明书或向厂家咨询。
注意接头形式
通常有双卡套(Swagelok)和VCR两种接头可以选择, VCR接头性能更好适合于应用。
订货应注明:
产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体(特别是腐蚀性气体)、接头形式和数量。
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