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气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用

真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。

热式气体质量流量计

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。

质量流量控制器

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。

流量控制器的作用

钢******处理又称刚液吹***处理，是一种简易的钢液脱气和去除非金属夹杂物的炉外精炼方法。这种方法工艺简单，设备便宜，精炼效果明显。依据所需处理钢液在常温下的***以及处理目的的不同，吹入钢液的气体，可以选用***气、氮气、水蒸气、空气，或先吹入氮气、水蒸气、空气，然后再吹入***气。钢液吹***处理有重要的冶金意义。

使用LF系列气体质量流量控制器进行钢******的方式有两种：一种钢包底吹，一种钢包顶吹。钢******受压力的影响。吹***压力越大，搅动力越大，气泡上升越快。但吹***压力过大，***气流涉及范围就越来越小，甚至形成连续气泡柱，而且容易造成钢包液面剧烈翻滚，钢液大量露在与空气接触造成二次氧化和降温。钢渣相混，被击碎乳化的炉渣入钢水深处，使夹杂物含量增加。所以很大压力以不冲破渣层露出液面为限。压力过小，搅拌能力弱，吹***时间延长，甚至造成透气砖堵塞。

所以压力过大过小都不好，理想的吹***压力是使氮气流遍布整个钢包，***气泡在钢液内呈均匀分布。莱峰流体气体质量流量控制器由质量流量传感器、热式原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成，它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成，其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

能准确可靠的测量和控制气体质量流量，测量和控制精度高、零飘小，测量和控制范围宽，测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响。不管是在钢包底吹还是钢包顶吹都能很好的控制***气均匀的注入，使钢液在浇注前成分、温度均匀，实现连铸工艺正常化，提高钢材冲击韧性等。

流量控制器在等离子清洗设备中的使用情况

在等离子清洗机中，一般会使用到微小流量的气体，对其进行离化，生成一种全新的物质状态——等离子状态。模拟型和数字型的气体质量流量控制器也在等离子清洗设备中广泛使用，设备对气体质量流量控制器的稳定性和重复性要求极高，耐压能达5Mpa，精度可达±1%F.S，重复性和线性精度稳定。

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质，对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。经济的发展，人们的生活水平不断提高，对消费品的质量要求也越来越高，等离子技术随之逐步进入生活消费品生产行业中；另外呢，科技的不断发展，各种技术问题的不断提出，新材料的不断涌现，越来越多的科研机构已认识到等离子技术的重要性，并投入大量资金进行技术攻关，等离子技术在其中发挥了非常大的作用。

气体质量流量计是一款具有高精度的控制装置，通过新型算法及***的自整定技术，实现较优控制，通过区间PID实现调节，采用数控技术，自动化程度高，具有强大的抗干扰性能，能有效避免电源干扰对通信信号的影响，实现稳定控制和测量。