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很多朋友对热式气体质量流量控制器和质量流量计的单位还有不理解的地方，今天咱们就来好好理解一下流量控制器和流量计在生活中所常用的单位。质量流量计和流量控制器的工作原理

一般地，质量流量控制器和质量流量计的单位都是以sccm（毫升/分钟）和slm（升/分钟）表示；s代表stand，指标准状况下；cc指毫升；l指升；m代表minute，指分钟；其实这就意味着，流量控制器在不同的使用条件下，指示的流量全都是标准状态下的流量。松盛测控将标准状态规定为：气压—101325Pa (760mm Hg)； 温度—20℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm、slm不同于mL/min、L/min 的地方。怎么样区分热式气体质量流量控制器与质量流量计

而对一些朋友而言：体积流量的表示方法很符合习惯，也便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min、g/h、kg/min、kg/h等）,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量其实就等同于质量流量。也有一些朋友习惯用流速来表示，流速可以经过简单的计算得到转换成流量，流量和流速的换算关系由以下公式进行计算：Q=V·S，其中V代表气体在管道中的流速，S为钢管的截面积，Q代表气体在特定的时间内流过的流量。其中Q的单位是m/s，V的单位是m/s，S的单位㎡。

流量控制器

质量流量控制器，即 Mass Flow Controller(缩写为MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一种用于通过测量流体的质量流量来控制流量的设备。当气体流经加热表面时，气体分子产生热传递，与加热表面产生接触的气体分子越多，热传递现象越明显。通过对加热表面热量变化的测量，即可以反应出某种气体的质量流量变化。这种测量方法不受气压与环境温度的影响，因为它所测量的本质是气体分子的数量。

热式气体质量流量传感器是气体质量流量控制器中一个重要的主要部件,对气体质量流量控制器的性能指标,如零漂,准确度,线性,重复度,响应时间等重要指标参数有直接影响.要使气体质量流量控制器的性能指标得到明显改善,首先就要提升热式气体质量流量传感器的性能.然而,热式气体质量流量传感器的性能与其本身的结构参数设计是密切相关的。

流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

流量控制器在自动配气仪中的应用

高精度气体稀释装置是一种用于物理学、化学、环境科学技术及资源科学技术领域的计量仪器，其工作原理是能对气瓶中的高浓度气体进行大比例稀释混合。根据气体方程式，仪器可自动计算配比浓度。有些型号可选配自校准和自诊断功能。混合气体的精度、稳定性取决于使用的高精度气体质量流量控制器。

质量流量控制器(流量计)由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。从而得到设定的气体浓度。